近年来，超精密基础零部件加工件及机床结构等方面应用了一些新理论、新原理、新观点、新方法和新技术。
在机床结构方面
       为了增加超精密机床的静刚度和动刚度，一些超精密机床采用特殊的结构，例如三角棱形立式结构的超精密磨床是为了超大直径（φ 400mm）硅片研磨加工设计的，改变了传统的龙门式结构在重的加工负载下容易产生俯仰和偏摆变形的缺点。近年来采用多自由度并联机床结构，进一步增大了机床的刚度。

超精密加工设备的展望
        高精度与高效率是超精密零部件加工永恒的主题。首先通过提高机床转速和刀具进给速度来缩短加工时间。以往商用超精密机床主轴转速为 3000r/min，现已有 15000r/min的机床出售。采用直线电机可大大提高进给回程速度，芯片封装设备的运动加速度可达10g 以上。其次是通过提高运动部件刚度来提高精度和效率，如高刚度空气轴承（多孔质取 代小孔节流）、液体静压轴系（液压油和纯水轴承）等，还可采用补偿软件进一步提高加工精度。
       总的来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术（如CMP、EEM等）虽能获得高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM一样的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密零部件加工领域研究的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另外，电解磁力研磨、磁流 变磨料流加工等复合加工方法的诞生也是趋势表面。
       当今企业间的竞争趋于白热化， 高生产效率越来越成为企业赖以生存的条件之一。在这样的背景下，出现了“以磨代研”甚至“以磨代抛”的呼声。另一方面，使用一台设备完成多种加工（如车削、钻削、铣削、磨 削、光整等）的趋势越来越明显。