精度与效率是超精密零部件加工永恒的主题。先通过提高机床转速和刀具进给速度来缩短加工时间。以往商用超精密机床主轴转速为 3000r/min，现已有 15000r/min的机床出售。采用直线电机可提高进给回程速度，芯片封装设备的运动加速度可达10g 以上。其次是通过提高运动部件刚度来提高精度和效率，如高刚度空气轴承（多孔质取 代小孔节流）、液体静压轴系（液压油和纯水轴承）等，还可采用补偿软件进一步提高加工精度。

       总的来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术（如CMP、EEM等）虽能获得高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM一样的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密零部件加工领域研究的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另外，电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生也是趋势表面。

       当今企业间的竞争趋于白热化， 高生产效率越来越成为企业赖以生存的条件之一。在这样的背景下，出现了“以磨代研”甚至“以磨代抛”的呼声。另一方面，使用一台设备完成多种加工（如车削、钻削、铣削、磨 削、光整等）的趋势越来越明显。